TSMC პირველი მშრალი EUV ნიღბების დასუფთავების ტექნოლოგიამ, რომელიც დაგროვდა 470 მილიონ ივანზე მეტი

ტაივანის მედიის ცნობით, TSMC– მ დანერგვა მშრალი ექსტრემალური ულტრაიისფერი (EUV) ნიღბების დასუფთავების ტექნოლოგია ენერგიისა და რესურსების ეფექტურობის გასაუმჯობესებლად და კუმულაციურად შექმნა გაუმჯობესებული სარგებელი 2 მილიარდი დოლარის ოდენობით (დაახლოებით 476 მილიონი RMB).

TSMC- ის ინოვაციური მშრალი EUV ნიღბების დასუფთავების ტექნოლოგია შემოიღეს საცდელი წარმოებისთვის 2018 წელს. 2019 წელს მან კიდევ შეიმუშავა EUV ნიღბების დასუფთავების მშრალი ტექნოლოგიის ავტომატიზაცია. იგი სრულად დაინერგა 12-დიუმიან ვაფლის ფაბრიკაში მასობრივი წარმოებისთვის მიმდინარე წლის იანვარში.

გასაგებია, რომ TSMC– მ ინოვაციური და განვითარებული მშრალი EUV ნიღბების დასუფთავების ტექნოლოგია, მტვერი სწრაფად ამოიღო მშრალი ტექნოლოგიის საშუალებით, შეცვალა სველი გაწმენდის მეთოდი, რომელიც მოითხოვს სუფთა წყალს და ქიმიკატებს; ამავდროულად, იგი იყენებს სუბ-ნანო დონის ანალიზების ტექნოლოგიას მტვრის წყაროს ზუსტად დასადგენად და საერთოდ აღმოფხვრის მას დაბინძურების წყაროს, 2020 წლისთვის მტვრის შემცირების მაჩვენებელი გადააჭარბებს 99% -ს. ჯერჯერობით, კუმულაციური წყლის დაზოგვა იყო დაახლოებით 735 მეტრი ტონამდე, ხოლო ქიმიკატების მოხმარება შემცირდა დაახლოებით 36 მეტრი ტონით.

გარდა ამისა, მშრალი დასუფთავების ტექნოლოგიის დანერგვამ მნიშვნელოვნად შეამცირა ნიღბის შენარჩუნების სიხშირე და დრო, გაზარდა ნიღბის უტილიზაციის დონე 80% -ზე მეტით, ხოლო გახანგრძლივებული EUV ნიღბის სიცოცხლის გახანგრძლივება, რაც ქმნის კუმულაციური გაუმჯობესების უპირატესობას. 2 მილიარდი იუანი.